原告湖南科力遠(yuǎn)新能源股份有限公司,住所地湖南省長沙市X區(qū)X路X號(hào)。
法定代表人鐘某,董事長。
委托代理人(特別授權(quán))王瑞明,北京市澤和律師事務(wù)所律師。
委托代理人(特別授權(quán))唐某某,北京北翔知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司專利代理人。
被告英可高新技術(shù)材料(大連)有限公司,住所地遼寧省大連市X區(qū)南側(cè))ШB-X號(hào)。
法定代表人胡某,董事長。
委托代理人(特別授權(quán))翁莉,北京市路盛律師事務(wù)所律師。
委托代理人(特別授權(quán))張某,北京捷鼎知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司員工。
被告湖南凱豐新能源有限公司,住所地湖南省長沙市X區(qū)X路X號(hào)。
法定代表人武某,總經(jīng)理。
委托代理人(一般代理)余某某,女,漢族,X年X月X日出生,?。裕?。
原告湖南科力遠(yuǎn)新能源股份有限公司(以下簡稱科力遠(yuǎn)公司)因與被告英可高新技術(shù)材料(大連)有限公司(以下簡稱大連英可公司)、湖南凱豐新能源有限公司(以下簡稱凱豐公司)侵犯發(fā)明專利權(quán)糾紛一案,于2008年11月10日向本院提起訴訟。本院受理后,依法組成合議庭進(jìn)行審理。原告科力遠(yuǎn)公司在起訴同時(shí)申請(qǐng)證據(jù)保全,本院作出(2008)長中民三初字第0501-X號(hào)民事裁定書,并依原告請(qǐng)求在執(zhí)行上述保全裁定時(shí)向被告凱豐公司送達(dá)起訴副本材料。被告大連英可公司提出管轄異議,本院于2008年12月5日以(2008)長中民三初字第0501-X號(hào)民事裁定駁回其管轄異議申請(qǐng)。其仍不服并提出上訴,2009年1月15日,湖南省高級(jí)人民法院作出(2009)湘高法立民終字第X號(hào)民事裁定書,維持本院駁回其管轄異議的裁定結(jié)果。因被告大連英可公司就本案管轄權(quán)向最高人民法院提出再審申請(qǐng),2009年2月12日,最高人民法院以(2009)民申字第X號(hào)調(diào)卷函調(diào)取本案案卷材料,并于2009年3月25日作出(2009)民申字第X號(hào)民事裁定書,駁回了大連英可公司的再審申請(qǐng)。2009年3月4日,本院應(yīng)原告請(qǐng)求到湖南省公安廳調(diào)取了相關(guān)材料。第一次開庭后,本院到國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局調(diào)取了相關(guān)材料并向案外人沈陽天潤化工有限公司(以下簡稱天潤公司)進(jìn)行調(diào)查。本院于2009年7月21日、8月13日、14日不公開開庭審理了本案,原告科力遠(yuǎn)公司的委托代理人王瑞明、唐某某,被告大連英可公司的委托代理人翁莉、張某到庭參加了訴訟,凱豐公司的委托代理人余某某參加了2009年7月21日、8月13日上午的訴訟活動(dòng),未參加8月13日下午和8月14日全天的訴訟活動(dòng),本院依法缺席審理。本案現(xiàn)已審理終結(jié)。
原告科力遠(yuǎn)公司訴稱:原告合法擁有“一種海綿狀泡沫鎳的制備方法”的發(fā)明專利,該專利申請(qǐng)日為1995年3月11日,公開日為1995年10月11日,公告授權(quán)日為1998年10月14日,專利號(hào)為ZL(略).2。原告發(fā)現(xiàn),被告大連英可公司未經(jīng)原告許可,自2003年11月起就開始使用與原告專利方法相同的技術(shù)生產(chǎn)與原告相同的產(chǎn)品,且將其依照該方法生產(chǎn)獲得的泡沫鎳大規(guī)模銷售到國內(nèi)和國際市場。被告凱豐公司未經(jīng)原告許可,為生產(chǎn)經(jīng)營為目的,從被告英可大連公司直接購買依原告專利方法直接獲得的連續(xù)卷式泡沫鎳,并使用其生產(chǎn)鎳氫電池。兩被告的行為侵犯了原告的專利權(quán),給原告造成了巨大的經(jīng)濟(jì)損失。為維護(hù)原告的合法權(quán)益,特訴至法院,請(qǐng)求依法判令:1、判令兩被告立即停止侵犯原告ZL(略).2發(fā)明專利權(quán)的行為;2、判令被告大連英可公司賠償原告經(jīng)濟(jì)損失人民幣4990萬元;3、判令兩被告承擔(dān)本案的全部訴訟費(fèi)用。本案開庭時(shí),原告就其起訴狀中事實(shí)與理由部分內(nèi)容提交了“更正表”,該更正表本院當(dāng)庭送達(dá)給兩被告,兩被告對(duì)原告就其訴狀內(nèi)容的更正無異議。
被告大連英可公司答辯稱:一、原告起訴答辯人實(shí)施專利侵權(quán)行為沒有事實(shí)依據(jù)。1、答辯人生產(chǎn)泡沫鎳產(chǎn)品所使用的方法未落入涉案專利的保護(hù)范圍,未侵犯原告專利權(quán)。理由是:原告自2007年6月1日方從他處受讓涉案專利,此前,原告并非該專利的權(quán)利人或利害關(guān)系人;且泡沫鎳產(chǎn)品的生產(chǎn)技術(shù)并非均為涉案專利所覆蓋,而原告專利保護(hù)范圍十分狹窄,原告在訴狀中所述所涉案專利方法并非是至今不可突破;原告不能僅憑大連英可公司經(jīng)營泡沫鎳制造和銷售就斷言我公司自設(shè)立起就使用與涉案專利方法相同的技術(shù)生產(chǎn)泡沫鎳產(chǎn)品;因泡沫鎳產(chǎn)品已經(jīng)是現(xiàn)有技術(shù),原告未提供答辯人未經(jīng)專利權(quán)人許可實(shí)施涉案專利的證據(jù);答辯人被控的泡沫鎳生產(chǎn)方法未落入涉案專利的保護(hù)范圍,未侵犯專利權(quán),而且該方法所包含的核心技術(shù)構(gòu)成答辯人受法律保護(hù)的商業(yè)秘密,原告通過公安機(jī)關(guān)刑事偵查取得的證據(jù)因侵害答辯人合法權(quán)益,在合法性及關(guān)聯(lián)性方面存在很大的爭議點(diǎn)。2、答辯人已申請(qǐng)宣告涉案專利無效并被受理,涉案專利的有效性和穩(wěn)定性已經(jīng)受到有力挑戰(zhàn),法院應(yīng)對(duì)案件是否進(jìn)行中止進(jìn)行審查判斷。
二、被控侵權(quán)技術(shù)與專利技術(shù)方案存在區(qū)別。首先,專利權(quán)利要求的內(nèi)容本身缺乏法律規(guī)定的專利性,如:關(guān)于“聚醚聚胺酯”表述并不科學(xué);電流密度、濺射時(shí)間、兩電極間距離等工藝參數(shù)解釋不清楚;說明書對(duì)于所用的粗化的聚醚聚胺酯沒有提供任何來源出處,導(dǎo)致本領(lǐng)域技術(shù)人員需要經(jīng)過創(chuàng)造性勞動(dòng)才能選擇合適的粗化的聚醚聚胺酯來再現(xiàn)發(fā)明;權(quán)利要求中僅對(duì)電鍍時(shí)間進(jìn)行了限定,對(duì)于其它參數(shù)如電鍍液中的鎳離子含量、電鍍液的pH值、電沉積的溫度等沒有限定,所以缺乏必要技術(shù)特征;后處理時(shí)所采用的“氣氛”不清楚;如何解釋“磁控濺射方法”、“經(jīng)鍍鎳,水洗水燥等后處理過程”等工藝;“純鎳”中的“純”字含義不清楚。由于涉案專利文件未對(duì)上述參數(shù)或工藝進(jìn)行解釋,導(dǎo)致涉案專利保護(hù)的技術(shù)范圍不清楚。若開庭時(shí)進(jìn)行是否侵權(quán)的技術(shù)比對(duì),則有必要先對(duì)涉案專利進(jìn)行司法鑒定。其次,涉案專利生產(chǎn)的僅為塊狀泡沫鎳,不涉及連續(xù)化生產(chǎn)的卷式泡沫鎳,答辯人生產(chǎn)工藝與專利權(quán)利要求書反映的技術(shù)方案既不相同,也不等同,根本不構(gòu)成侵權(quán)。另外,由于涉案專利修改后放棄了原公開文本中權(quán)利要求限定的較大的保護(hù)范圍,授權(quán)的技術(shù)方案保護(hù)范圍明顯縮小,且區(qū)別技術(shù)特征表現(xiàn)為參數(shù)范圍限定,因此,在進(jìn)行侵權(quán)對(duì)比時(shí),對(duì)以參數(shù)范圍限定的技術(shù)特征,不適用等同原則。
三、原告要求4990萬元經(jīng)濟(jì)損失沒有事實(shí)和法律依據(jù)。首先,對(duì)受讓之前的所謂侵權(quán)行為,原告沒有訴訟主體資格,無權(quán)提出相關(guān)法律主張。其次,原告主張的以答辯人的所謂收益作為賠償計(jì)算依據(jù)缺乏事實(shí)和法律依據(jù):僅就賠償而言,原告沒有實(shí)際損失,因涉案專利系受讓取得,不是自己獨(dú)創(chuàng),沒有研制費(fèi)用成本;受讓取得前,原告己規(guī)?;a(chǎn)泡沫鎳產(chǎn)品,使用的技術(shù)與本專利無潛在知識(shí)產(chǎn)權(quán)糾紛。第三、原告同時(shí)主張商業(yè)秘密權(quán)利,難以厘清被訴專利侵權(quán)與被控商業(yè)秘密對(duì)大連英可公司受益的貢獻(xiàn);原告不僅應(yīng)在本案中披露其商業(yè)秘密與本案專利在技術(shù)上的關(guān)聯(lián)性同樣,還應(yīng)披露其商業(yè)秘密與本案專利在技術(shù)上的區(qū)別。第四、原告取得專利的目的出于不正當(dāng)競爭目的,進(jìn)行惡意訴訟。第五、原告作為上市公司,利潤可以查明,應(yīng)以原告實(shí)際損失為賠償計(jì)算依據(jù)。
四、作為中外合資經(jīng)營企業(yè),大連英可公司是依法成立的中國法人,在法律上享有和原告平等的權(quán)利和義務(wù),原告作為主營業(yè)務(wù)為泡沫鎳產(chǎn)品的上市公司,和答辯人在泡沫鎳產(chǎn)品市場上存在難以避免的競爭關(guān)系。然而在本案專利侵權(quán)糾紛中,原告起訴狀中所謂“直接影響我國新能源戰(zhàn)略的實(shí)施,嚴(yán)重危害我國混合電動(dòng)汽車產(chǎn)業(yè)安全”的言論與本案專利糾紛爭議無關(guān),且該言論有損害答辯人名譽(yù)權(quán)甚至濫用知識(shí)產(chǎn)權(quán)之嫌,答辯人保留追究原告相關(guān)法律責(zé)任的權(quán)利。
五、本案在程序上還存在證據(jù)保全的證據(jù)確定管轄等相關(guān)問題。
綜上所述,答辯人認(rèn)為原告全部訴訟請(qǐng)求毫無事實(shí)和法律依據(jù),應(yīng)予以駁回。
被告凱豐公司答辯稱:其公司能夠提供所使用的泡沫鎳產(chǎn)品的合法來源,且對(duì)該產(chǎn)品或生產(chǎn)該產(chǎn)品的方法是否侵權(quán)并不知情,依據(jù)法律規(guī)定,其公司不應(yīng)承擔(dān)賠償責(zé)任。
原告為支持其訴訟主張,在本案舉證期限內(nèi)向本院提交了37份證據(jù),且在本案第二次開庭時(shí)補(bǔ)充提交了8份證據(jù),分別是:
第一組證據(jù)系證明原告合法擁有涉案專利權(quán)及其他相關(guān)權(quán)益的證據(jù),包括證據(jù)1-9,及補(bǔ)充證據(jù)1-8,分別為:
證據(jù)1、2、3、5、6:分別為ZL(略).X號(hào)發(fā)明專利的專利證書、專利說明書、專利登記簿副本、專利繳費(fèi)憑證。
證據(jù)4:系國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局于2008年8月4日下發(fā)的關(guān)于涉案專利權(quán)人變更為本案原告的“手續(xù)合格通知書”。
以上證據(jù)1-6擬證明原告合法擁有涉案專利權(quán)。
證據(jù)7:天潤公司與長沙力元新材料股份有限公司(以下簡稱長沙力元公司)簽訂的《專利轉(zhuǎn)讓與合作合同》,擬證明天潤公司不僅將涉案專利權(quán)轉(zhuǎn)讓,而且將原專利權(quán)人所擁有的基于涉案專利所產(chǎn)生的權(quán)利和利益一并轉(zhuǎn)讓給長沙力元公司,進(jìn)一步證明本案原告有權(quán)對(duì)轉(zhuǎn)讓生效前的侵權(quán)行為提起訴訟并要求侵權(quán)人承擔(dān)侵權(quán)法律責(zé)任。
證據(jù)8:長沙力元公司更名為本案原告的工商查詢資料,擬證明長沙力元公司所享有權(quán)益由原告承繼。
補(bǔ)充證據(jù)1:2007年4月29日,長沙力元公司與廣西梧州三和新材料科技有限公司(以下簡稱三和公司)簽訂的《專利實(shí)施許可合同》。
補(bǔ)充證據(jù)2:2007年5月10日,長沙力元公司給天潤公司轉(zhuǎn)款50萬元的銀行《資金匯劃補(bǔ)充憑證》。
補(bǔ)充證據(jù)3:2007年5月29日,天潤公司給長沙力元公司開具的已收轉(zhuǎn)讓費(fèi)50萬元的發(fā)票。
補(bǔ)充證據(jù)4:2009年1月23日,原告給天潤公司轉(zhuǎn)款80萬元的銀行《付款回單》。
補(bǔ)充證據(jù)5:2009年2月26日,天潤公司給長沙力元公司開具的已收技術(shù)服務(wù)費(fèi)80萬元的發(fā)票。
補(bǔ)充證據(jù)6:2007年8月1日,長沙力元公司給天潤公司轉(zhuǎn)款130萬元的銀行《資金匯劃補(bǔ)充憑證》。
補(bǔ)充證據(jù)7:2007年8月24日,天潤公司給長沙力元公司開具的已收專利轉(zhuǎn)讓與合作費(fèi)用130萬元的發(fā)票。
補(bǔ)充證據(jù)8:長沙市中級(jí)人民法院向天潤公司進(jìn)行調(diào)查的筆錄。
以上補(bǔ)充證據(jù)1至8擬證明天潤公司與原告間簽訂的《專利轉(zhuǎn)讓與合作合同》所規(guī)定的生效條件已經(jīng)成熟,合同已生效并實(shí)際履行。
證據(jù)9:2009年2月20日,常德力元新材料有限責(zé)任公司(以下簡稱常德力元公司)提出的《專利糾紛調(diào)解請(qǐng)求書》,擬證明原告有權(quán)提起本案訴訟,且原告作為專利權(quán)人是確定的事實(shí),本案無需中止訴訟。
第二組證據(jù)系關(guān)于被告侵犯了原告專利權(quán)及其他相關(guān)權(quán)益的證明,包括證據(jù)10至34、證據(jù)37,分別是:
證據(jù)10:被告大連英可公司的公開聲明。
證據(jù)11:2003年4月8日,天潤公司與沈陽金昌普新材料股份有限公司(以下簡稱金昌普公司)簽署的《專利技術(shù)合作合同》。
證據(jù)12:2007年4月16日,天潤公司要求與金昌普公司解除專利技術(shù)合作合同的通知及快遞單。
證據(jù)13:金昌普公司文件簽收單一份。
以上證據(jù)10至13擬證明被告大連英可公司使用的生產(chǎn)泡沫鎳的技術(shù)來源于金昌普公司,而金昌普公司無權(quán)向被告大連英可公司轉(zhuǎn)讓涉案專利技術(shù),被告大連英可公司使用涉案專利技術(shù)未得到專利權(quán)人許可。
證據(jù)14:x公司第二屆(中國)能源材料研討會(huì)(2007)有關(guān)會(huì)議材料。
證據(jù)15:“中國粉末冶金商務(wù)網(wǎng)”文章《INCO瞄準(zhǔn)中國不銹鋼產(chǎn)業(yè)進(jìn)軍鎳市》。
證據(jù)14至15擬證明被告大連英可公司生產(chǎn)泡沫鎳所使用的生產(chǎn)方法與原告的專利方法相同,且泡沫鎳年產(chǎn)量為210萬平方米。
證據(jù)16至21:系長沙市中級(jí)人民法院調(diào)取的證據(jù),包括:熱處理燒結(jié)爐記錄表復(fù)印件一張;PVD、電鍍工藝表;工藝規(guī)范及作業(yè)指導(dǎo)書;成品、半成品包裝袋封面復(fù)印件九頁(實(shí)物未提?。缓鲜」矎d經(jīng)偵總隊(duì)侵犯商業(yè)秘密卷宗部分資料;視聽資料。擬證明被告大連英可公司生產(chǎn)泡沫鎳的方法落入原告專利的保護(hù)范圍。
證據(jù)22至28:系教科書或已公開的專利文獻(xiàn),擬證明被告大連英可公司生產(chǎn)泡沫鎳的方法落入原告專利的保護(hù)范圍,包括:1992年由化學(xué)工業(yè)出版社出版的《化工辭典》(第三版)、美國專利US(略)及其部分譯文、1989年由東北工學(xué)院出版社出版的《真空鍍膜技術(shù)與設(shè)備》、2006年5月8日發(fā)布的電池用泡沫鎳國家標(biāo)準(zhǔn)、1993年由天津科學(xué)技術(shù)出版社出版的《電鍍?cè)砼c工藝》(第二版)、2003年由冶金工業(yè)出版社出版的《薄膜材料制備原理、技術(shù)及應(yīng)用》(第二版)、本案原告涉案專利ZL(略).2的申請(qǐng)公開文本。
以上證據(jù)14至28系關(guān)于大連英可公司使用了涉案專利方法的證據(jù)。
證據(jù)29、30、32、34、37:系被告大連英可公司銷售泡沫鎳給被告凱豐公司的銷售合同,銷售的泡沫鎳實(shí)物樣品,以及長沙市中級(jí)人民法院證據(jù)保全時(shí)的調(diào)查筆錄。擬證明被告大連英可公司銷售了依照專利方法直接獲得的產(chǎn)品、被告凱豐公司使用了依照專利方法直接獲得的產(chǎn)品。
第三組證據(jù)擬證明被告大連英可公司的侵權(quán)行為給原告造成了巨大經(jīng)濟(jì)損失的證據(jù),包括證據(jù)35、36:
證據(jù)35:被告大連英可公司財(cái)務(wù)資料。
證據(jù)36:被告大連英可公司的外資企業(yè)注冊(cè)內(nèi)容查詢卡。
被告大連英可公司對(duì)原告證據(jù)發(fā)表質(zhì)證意見如下:對(duì)原告證據(jù)1至6,證據(jù)真實(shí)性,合法性無異議,關(guān)聯(lián)性有異議,不能達(dá)到原告的證明目的。對(duì)證據(jù)7合同形式上的真實(shí)性有異議,該合同無簽署日期,沒有合同中明確約定的合同附件,不完整,天潤公司蓋章與原告證據(jù)11、12中的蓋章不一致;該證據(jù)涉嫌以合法形式掩蓋非法目的,對(duì)合法性不認(rèn)可;原告未能舉證證明該合同是否成立并生效,且合同內(nèi)容約定不清,不能證明原告取得受讓前訴權(quán)。對(duì)證據(jù)8的真實(shí)性、合法性無異議,但認(rèn)為原告公司成立于1998年,晚于涉案專利申請(qǐng)日,且原告主營業(yè)務(wù)也是泡沫鎳產(chǎn)品生產(chǎn)銷售,該證據(jù)不能證明原告的證明目的。被告大連英可公司認(rèn)為原告證據(jù)9形式上不完整,常德力元公司與原告的協(xié)議書未附,該證據(jù)不合法,以合法形式掩蓋非法目的,損害社會(huì)公共利益;證明存在權(quán)屬糾紛,請(qǐng)求人否定原告專利權(quán)利的完整性,不能證明原告證明事項(xiàng)。對(duì)證據(jù)10因無原件,且原告未提供合法來源,該份證據(jù)上未提到英可大連公司,故對(duì)關(guān)聯(lián)性有異議。證據(jù)11合同上天潤公司的蓋章和原告的證據(jù)7中的簽章不一樣,對(duì)其真實(shí)性表示懷疑,關(guān)聯(lián)性有異議,不能達(dá)到其證明目的,因該合同上未涉及天潤公司擁有的專利號(hào);且即使此合同真實(shí)有效,也不能證明該合同已實(shí)際履行,而且該合同是金昌普公司與天潤公司簽訂的,與本案原告無關(guān)。證據(jù)12無原件,且天潤公司的公章與證據(jù)7、證據(jù)11中的印章不一致,對(duì)該證據(jù)的真實(shí)性不認(rèn)可;且該證據(jù)中解除合同通知的快遞單沒有原件,不能證明是否簽收。證據(jù)13無原件,真實(shí)性不認(rèn)可,接收單位是金昌普公司,簽收單位是中國科學(xué)金屬研究所,送件時(shí)間和簽收時(shí)間是一天,不符合實(shí)際情況;且接收單位和簽收單位都是天潤公司打印,該證據(jù)上的簽收單位與簽收人的關(guān)系不清楚。證據(jù)14的原件不完整,對(duì)手寫部分內(nèi)容不認(rèn)可,對(duì)此證據(jù)的關(guān)聯(lián)性有異議。證據(jù)15打印時(shí)間是2009年7月16日,與該證據(jù)提交時(shí)間2008年不能對(duì)應(yīng),對(duì)其真實(shí)性不認(rèn)可,原告僅憑此認(rèn)為被告大連英可公司侵權(quán)不能成立,不能證明原告的證明目的。對(duì)證據(jù)16至21、35等證據(jù)形式上的真實(shí)性認(rèn)可,對(duì)證據(jù)的合法性不認(rèn)可;且不能達(dá)到原告證明目的,公安機(jī)關(guān)依據(jù)商業(yè)秘密刑事案件進(jìn)行調(diào)查取得的材料,與本案民事專利侵權(quán)案件案由不一致,對(duì)公安機(jī)關(guān)調(diào)查筆錄有異議,而且原告無權(quán)主張?jiān)谑茏寣@暗乃^損失,以大連英可公司的獲利計(jì)算本案原告損失不能獲得支持。對(duì)證據(jù)22至28、30、32、34、36、37、補(bǔ)充證據(jù)1至8真實(shí)性、合法性無異議,但對(duì)證據(jù)的證明力有異議,且證據(jù)28是涉案專利申請(qǐng)公開文本,不是最終授權(quán)公告的文本。對(duì)證據(jù)29的來源有異議,該合同簽訂時(shí)原告還不是專利權(quán)人,故此證據(jù)與本案無關(guān)聯(lián)性,且產(chǎn)品銷售到長沙不等同于銷售行為發(fā)生在長沙,并不因此當(dāng)然獲得管轄權(quán)。
被告凱豐公司對(duì)原告以上證據(jù)均無異議。
被告大連英可公司為支持其訴訟主張,在舉證期限內(nèi)提交了41份證據(jù),在第二次開庭時(shí)補(bǔ)充提交了8份證據(jù),并于本案第二次開庭后再次補(bǔ)充提交了一份證據(jù),分別是:
證據(jù)1:系從中國國家圖書館科技查新中心復(fù)制的文獻(xiàn),包括:
1-1:《車用發(fā)動(dòng)機(jī)》1987年8月出版,文獻(xiàn)名《改善柴油機(jī)性能和使用壽命的復(fù)合合金活塞》,作者:x;
1-2:《電源技術(shù)》1994年第一期,文獻(xiàn)名《泡沫鎳貯氫電極成型工藝研究》,作者:張士杰;
1-3:《電池》1994年2月25日出版,《泡沫鎳產(chǎn)品廣告》,亞洲龍實(shí)業(yè)公司;
1-4:《科技情報(bào)開發(fā)與經(jīng)濟(jì)》1994年4月20日出版,文獻(xiàn)名《國內(nèi)外鎳-金屬氫化物電池的研究》,作者李晉平、李冬梅;
1-5:《沈陽工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào)》1991年12月出版,文獻(xiàn)名《高孔隙度金屬-泡沫鎳的研制》,作者戎旭濱、陳立佳、崔思林、李衛(wèi)立。
證據(jù)2:(2008)沈恒證民字第X號(hào)公證書,擬證明沈陽中科腐蝕控制工程技術(shù)中心在1994年已經(jīng)銷售發(fā)泡鎳(泡沫鎳)。
證據(jù)3:專利號(hào)為(略).4、名稱為鎳氫電池及其制造技術(shù)專利的申請(qǐng)公開說明書,說明至少在申請(qǐng)日前已有工業(yè)化使用,泡沫鎳不是新產(chǎn)品。
以上證據(jù)1至證據(jù)3擬證明泡沫鎳產(chǎn)品為涉案專利的現(xiàn)有技術(shù)。
證據(jù)4:2003年2月號(hào),第13卷第1期《中國有色金屬學(xué)報(bào)》上的“連續(xù)泡沫鎳制造技術(shù)”文章。
證據(jù)5:系2006年5月8日發(fā)布的《電池用泡沫鎳國家標(biāo)準(zhǔn)》GB/x-2006。
證據(jù)6:系檢索文獻(xiàn),包括:
6-1:申請(qǐng)?zhí)枮椋裕?5,名稱為連續(xù)制造卷式發(fā)泡金屬帶材的技術(shù)的發(fā)明專利申請(qǐng)公開說明書,申請(qǐng)人為沈陽昌普科技發(fā)展有限公司,申請(qǐng)日是1997年6月9日;
6-2:《泡沫鎳的制備方法》文章,稀有金屬1997年6期,作者:惠志林,張景懷;
6-3:《泡沫鎳的制備工藝與性能》文章,稀有金屬2001年5月,作者:張景懷,惠志林,方政秋;
6-4:《泡沫鎳工藝設(shè)計(jì)及產(chǎn)品性能改進(jìn)》文章,稀有金屬與硬質(zhì)合金,2006年6月;
6-5:《制備工藝條件對(duì)泡沫鎳抗拉強(qiáng)度的影響》文章,中國有色金屬學(xué)報(bào),1999年7月,作者劉培生,付超等。
6-6:《泡沫鎳的制備工藝及性能參數(shù)》文章,電池工業(yè)2002年第6期,2002年12月出版,作者包括鐘某,單位為長沙力元公司;
6-7:《用電沉積方法制備泡沫鎳材料》文章,該證據(jù)系大連英可公司第二次開庭時(shí)補(bǔ)充提交;
6-8:《電沉積法制備得泡沫鎳的晶體結(jié)構(gòu)與磁性能》文章,該證據(jù)系大連英可公司第二次開庭時(shí)補(bǔ)充提交。
以上證據(jù)4至證據(jù)6系關(guān)于泡沫鎳產(chǎn)品的用途、生產(chǎn)、市場發(fā)展等的介紹。
證據(jù)7:系被告大連英可公司與泡沫鎳有關(guān)的專利文件及專利申請(qǐng)文件,包括8份專利文獻(xiàn),專利號(hào)分別為:(略).5、(略).9、(略).0、(略).0、(略).0、(略).5、(略).6、(略).0。
證據(jù)8:系原告與泡沫鎳有關(guān)的專利文件及專利申請(qǐng)文件,包括24份專利文獻(xiàn),專利號(hào)分別為:(略).4、(略).X、(略).3、(略).2、(略).5、(略).0、(略).4、(略).9、(略).1、(略).9、(略).8、(略).1、(略).5、(略).6、(略).8、(略).9、(略).0、(略).0、(略).6、(略).8、(略).7、(略).1、(略).8、(略).6。
證據(jù)9:系其他與泡沫鎳有關(guān)的專利文件及專利申請(qǐng)文件,包括4份專利文獻(xiàn),專利號(hào)分別為:(略).1、(略).2、(略).8、(略).7。
證據(jù)10:涉案專利的審查檔案。
證據(jù)11:系涉案專利無效請(qǐng)求書及其附件。
證據(jù)12:系涉案專利無效請(qǐng)求書附件,包括:
12-3:《新的真空沉積工藝》(作者J.J.x,發(fā)表于《x》1980年3月刊);
12-4:《新的真空沉積工藝》(作者J.J.x,發(fā)表于《x》1980年4月刊);
12-5:美國專利(專利號(hào)(略),公開日1989年11月21日)(下文稱對(duì)比文件6);
12-6:美國專利(專利號(hào)4,975,230,公開日1990年12月4日)(下文稱對(duì)比文件7);
12-7:本專利申請(qǐng)案卷的全部文件,與大連英可公司證據(jù)10內(nèi)容重復(fù);
12-8:美國專利(專利號(hào)5,015,493,公開日1991年5月14日)(下文稱對(duì)比文件1);
12-9:美國專利(專利號(hào)5,234,561,公開日1993年8月10日)(下文稱對(duì)比文件2);
12-10:美國專利(專利號(hào)4,802,967,公開日1989年2月7日)(下文稱對(duì)比文件3);
12-11:美國專利(專利號(hào)3,984,907,公開日1976年10月12日)(下文稱對(duì)比文件4);
12-12:中國專利(專利號(hào)(略),公開日1986年9月17日)(下文稱對(duì)比文件5)。
證據(jù)13:系原告答復(fù)無效請(qǐng)求的意見。
證據(jù)14:復(fù)審委X號(hào)復(fù)審決定。
14-1:《發(fā)明與專利審查基礎(chǔ)教程》。
證據(jù)15:薄膜科學(xué)與技術(shù)手冊(cè)類圖書資料,《真空鍍膜技術(shù)與設(shè)備》(封面、扉頁、前言、目錄3頁、正文1-24、80-136、248-275、292-293頁);
15-1:《薄膜科學(xué)與技術(shù)手冊(cè)》(上下冊(cè))(扉頁、上冊(cè)目錄6頁、正文1-25、400-454、576-581、下冊(cè)目錄6頁、正文1-2、871-876、969-978、照片7頁、附錄6、附錄7、附錄8-1、附錄8-2、附錄9、993-996頁);
15-2:《薄膜物理與技術(shù)》(封面、簡介、出版說明、前言2頁、目錄2頁、正文1-2、60-103頁);
15-3:《表面沉積技術(shù)》(封面、扉頁、目錄2頁、正文168-189);
15-4:《金屬真空表面強(qiáng)化的原理與應(yīng)用》(封面、扉頁、目錄2頁、正文30、75-82、86-93頁);
15-5:薄膜材料與薄膜技術(shù)(第二版)(封面、扉頁、前言、目錄2頁、正文58-61、63-67);15-6:固體薄膜材料與制備技術(shù)(封面、扉頁、前言、目錄1頁、正文47-54頁);
15-6:固體薄膜材料與制備技術(shù)(封面、扉頁、前言、目錄1頁、正文47-54頁)。
證據(jù)16:專業(yè)期刊文獻(xiàn)及申請(qǐng)日前的專利文件,包括:
16-1:《直流磁控管高速濺射沉積鎳》,《真空科學(xué)與技術(shù)雜志A》,第二輯;
16-2:美國專利4,326,931多孔金屬連續(xù)生產(chǎn)工藝,公開日1982年4月27日;
16-3:日本專利公開專利公報(bào),專利號(hào)“平3-x”,公開日1991年2月8日;
16-4:美國專利(略),公開日1981年2月17日。
證據(jù)20:《熱處理工工藝入門》等技術(shù)資料,包括:
20-1:《金屬熱處理300問》;
20-2:《熱處理工工藝入門》;
20-3:《熱處理工技術(shù)問答》;
20-4:《金屬熱處理工藝學(xué)》;
20-5:《表面防護(hù)與裝飾》;
20-6:《粉末冶金原理》(74年版);
20-7:《粉末冶金原理》(82年版)。
以上證據(jù)7至證據(jù)16、證據(jù)20擬證明涉案專利并非原告所稱”不能突破”,專利保護(hù)范圍窄、專利很可能被無效。
證據(jù)17:《塑料品種與性能手冊(cè)》等檢索文獻(xiàn),包括:
17-1:《高分子材料》(封面、緒論);
17-2:《塑料品種與性能手冊(cè)》(封面、正文574-579);
17-3:《泡沫塑料手冊(cè)》(封面、扉頁、序、目錄7頁、正文54-55、84-85);
17-4:《聚氨酯泡沫塑料》(封面、正文1-7);
17-5:《塑料、彈性體、復(fù)合材料手冊(cè)——性能及加工》(封面、扉頁、目錄6頁、正文45-46);
17-6:《化工產(chǎn)品手冊(cè)——樹脂與塑料》(封面、正文464-465);
17-7:《國內(nèi)外樹脂(塑料)牌號(hào)手冊(cè)》(封面、扉頁、目錄4頁、正文1-7頁);
17-8:聚氨酯的FTIR光譜與熱分析研究,該證據(jù)系大連英可公司第二次開庭時(shí)補(bǔ)充提交。。
證據(jù)18:軟質(zhì)聚氨脂泡沫塑料國家標(biāo)準(zhǔn)。
證據(jù)19:聚醚泡棉和聚酯泡棉技術(shù)資料(上海井上高分子制品有限公司提供);
19-1:上海井上公司的工商基本資料和網(wǎng)頁。
證據(jù)21:標(biāo)簽。
證據(jù)22:采購訂單、進(jìn)口報(bào)關(guān)單及入庫單等翻譯件。
證據(jù)23:電子郵件公證。
證據(jù)24:以下四份證據(jù)系大連英可公司第二次開庭時(shí)補(bǔ)充提交,包括:
24-1:靶和陽極空間分布示意圖;
24-2:濺射空間示意圖;
24-3:泡沫鎳熱處理聲稱圖解;
24-4:熱處理爐爐溫曲線。
以上證據(jù)17至證據(jù)19、證據(jù)21至證據(jù)24擬證明被告大連英可公司被控侵權(quán)工藝未落入涉案專利保護(hù)范圍。
證據(jù)26:系金昌普公司與被告大連英可公司的技術(shù)轉(zhuǎn)讓協(xié)議,擬證明被告大連英可公司的被控侵權(quán)技術(shù)系合法受讓等。
證據(jù)28:申請(qǐng)法院向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局調(diào)取的專利轉(zhuǎn)讓協(xié)議,擬證明原告受讓專利相關(guān)事宜。
證據(jù)29:2003年8月原告的上市報(bào)告及附錄。
證據(jù)30:2007年8月《力元新材非公開發(fā)行股票購買資產(chǎn)報(bào)告書》。
以上證據(jù)29、證據(jù)30擬證明原告自認(rèn)涉案專利對(duì)泡沫鎳生產(chǎn)并非“不可突破”;原告對(duì)自身相關(guān)專利等無形資產(chǎn)的評(píng)估及受讓涉案專利后未實(shí)際產(chǎn)生受益。
證據(jù)31:媒體報(bào)道:《科力遠(yuǎn)總部調(diào)查》2008年11月10日發(fā)布。
證據(jù)32:媒體報(bào)道:新華網(wǎng)報(bào)道《最高機(jī)密被復(fù)制》。
證據(jù)33:湖南科力遠(yuǎn)新能源股份有限公司重大訴訟公告。
證據(jù)34:(2008)滬黃證經(jīng)字第X號(hào)公證書。
證據(jù)35:原告致泡沫鎳客戶的公開信。
證據(jù)36:(2009)滬黃證經(jīng)字第X號(hào)公證書。
以上證據(jù)31至證據(jù)36擬證明原告借本案訴訟為手段不正當(dāng)競爭爭取大連英可公司的客戶,以提高泡沫鎳產(chǎn)品價(jià)格達(dá)成市場壟斷地位。大連英可公司庭時(shí)撤回證據(jù)25、27。
證據(jù)37:原告公布的上市公司年報(bào)、相關(guān)網(wǎng)站報(bào)道等,包括:2006年年度報(bào)告、2007年半年度報(bào)告、2007年第三季度報(bào)告、2007年年度報(bào)告、網(wǎng)站報(bào)道科力遠(yuǎn)歷年財(cái)務(wù)數(shù)據(jù)。
證據(jù)38:2008年3月《發(fā)行股份購買資產(chǎn)實(shí)施情況報(bào)告暨股權(quán)變動(dòng)報(bào)告書》。
證據(jù)39:科力遠(yuǎn)董事長關(guān)于2008未達(dá)到盈利預(yù)測的致歉信;瀟湘晨報(bào)報(bào)道(3月18日)。
以上證據(jù)37-39證明原告對(duì)自身相關(guān)專利等無形資產(chǎn)的評(píng)估及歷年的財(cái)務(wù)資料。
證據(jù)40:無效中止文件,擬證明原告虛構(gòu)權(quán)屬爭議以中止復(fù)審委無效審查。
證據(jù)41:原告與天潤公司的《專利轉(zhuǎn)讓與合作合同》,擬證明原告受讓專利的目的并非為自己實(shí)施而是作為工具借訴訟等手段不正當(dāng)競爭獲取市場壟斷地位。
證據(jù)42:天潤公司工商基本信息,擬證明天潤公司沒有實(shí)際生產(chǎn)泡沫鎳。該證據(jù)系大連英可公司第二次開庭時(shí)補(bǔ)充提交。
證據(jù)43:(2009)滬黃證經(jīng)字第X號(hào)公證書,于2009年8月21日向本院郵寄提交,大連英可公司提交該份證據(jù)以作為原告在2009年8月13日當(dāng)庭提交的證據(jù)《專利實(shí)施許可合同》的反駁證據(jù),并以此證明三和公司未使用涉案專利生產(chǎn)泡沫鎳產(chǎn)品,進(jìn)而證明大連英可公司答辯意見中主張的“涉案專利沒有被產(chǎn)業(yè)化實(shí)施”。
原告對(duì)被告大連英可公司的證據(jù)質(zhì)證如下:對(duì)大連英可公司證據(jù)1、2、4、6、11、12-5、14-1、16-1、16-2、16-4、17、20、30、34至40等證據(jù)的真實(shí)性、合法性無異議,但對(duì)證明力有異議。因證據(jù)3、7、8、9、12中除12-5外的其他證據(jù)、證據(jù)14、16-3、19-1等因無證據(jù)的原件,對(duì)真實(shí)性不予認(rèn)可,其他不發(fā)表意見。對(duì)證據(jù)5、13、15、18、19中除19-1外的其他證據(jù)、證據(jù)21、22、24、26、33等的真實(shí)性、合法性、關(guān)聯(lián)性均無異議,但認(rèn)為沒有證明力。對(duì)證據(jù)23公證書形式?jīng)]有異議,對(duì)公證書的內(nèi)容有異議,該郵件是2008年11月,已經(jīng)是訴訟中了。對(duì)補(bǔ)充提交的證據(jù)42、證據(jù)17-8、證據(jù)6-7、證據(jù)6-8因?yàn)闊o原件,真實(shí)性不予認(rèn)可,其他不發(fā)表意見,且所有這部分證據(jù)的提交時(shí)間都超出了舉證期限。對(duì)證據(jù)31、32證據(jù)三性均有異議,證明目的也有異議。證據(jù)41的合法性有異議,其他無異議。認(rèn)為證據(jù)43只能證明三和公司也開發(fā)了相關(guān)的生產(chǎn)泡沫鎳的技術(shù),即導(dǎo)電膠法制造泡沫鎳的技術(shù),但并不能否認(rèn)三和公司同時(shí)也使用涉案專利進(jìn)行泡沫鎳生產(chǎn)這一事實(shí),因此不能明大連英可公司的證明目的。
被告凱豐公司認(rèn)為被告大連英可公司的證據(jù)與其公司無關(guān),對(duì)真實(shí)性、合法性無異議。
被告凱豐公司未提交證據(jù)。
本院經(jīng)對(duì)證據(jù)進(jìn)行審查,并分析各方當(dāng)事人的意見,認(rèn)證如下:
關(guān)于原告提交的證據(jù):本院認(rèn)為,結(jié)合兩被告對(duì)原告證據(jù)的質(zhì)證意見,兩被告對(duì)原告證據(jù)1-6、證據(jù)8、22至證據(jù)28、30、32、34、36、37、補(bǔ)充證據(jù)1-8真實(shí)性、合法性無異議,本院對(duì)此部分證據(jù)予以認(rèn)定,可以作為定案依據(jù)。對(duì)證據(jù)16至21、35等本院從湖南省公安廳調(diào)取的證據(jù),本院認(rèn)為,由于此部分證據(jù)系人民法院按照訴訟程序取得的證據(jù)材料,此部分證據(jù)的真實(shí)性、合法性應(yīng)予認(rèn)定,但由于人民法院民事案件審理中僅涉及當(dāng)事人之間的民事糾紛,故本院就此部分證據(jù)中與本案訴爭之專利侵權(quán)有關(guān)的材料進(jìn)行審核認(rèn)定,對(duì)其他部分不予審查。對(duì)被告大連英可公司認(rèn)為原告證據(jù)未提供原件或有形式瑕疵的證據(jù)7、9至15等,本院認(rèn)為,證據(jù)7、11系分別系天潤公司與長沙力元公司和金昌普公司的兩份合同,證據(jù)12、13系天潤公司要求解除合同的通知等,證據(jù)7和11原告提供了原件,就該兩份合同和解除合同通知上天潤公司的公章不一致的情況,經(jīng)本院調(diào)查,系上述證據(jù)產(chǎn)生前后天潤公司變更公司印章所致,且天潤公司還證實(shí)已通過面送和郵寄兩種方式向金昌普公司送達(dá)了解除合同通知書,與公司解除了合作合同,故此證據(jù)7、11、12、13的真實(shí)性、合法性及與本案的關(guān)聯(lián)性應(yīng)予認(rèn)定。原告證據(jù)9系專利糾紛調(diào)解請(qǐng)求書,被告大連英可公司以原告未提交常德力元公司與原告的協(xié)議書為由,對(duì)此證據(jù)的真實(shí)性提出質(zhì)疑,本院認(rèn)為,該份證據(jù)原告提供了原件,形式合法,內(nèi)容真實(shí),與本案訴爭權(quán)利人資格具有關(guān)聯(lián)性,可以作為定案依據(jù)。證據(jù)14中手寫改動(dòng)部分內(nèi)容大連英可公司不認(rèn)可,由于原告不能證明此手寫內(nèi)容的合理來源,本院僅對(duì)該證據(jù)中印刷文字部分內(nèi)容予以認(rèn)定。大連英可公司對(duì)證據(jù)15內(nèi)容的不完整性及打印時(shí)間與證據(jù)提交時(shí)間的不一致提出質(zhì)疑,由于原告無其他證據(jù)佐證該證據(jù)內(nèi)容,本院對(duì)此證據(jù)不予認(rèn)定。
關(guān)于被告大連英可公司提交的證據(jù):本院認(rèn)為,對(duì)原告和被告凱豐公司對(duì)真實(shí)性未提出異議的部分證據(jù),包括證據(jù)1、2、4、6、11、12-5、14-1、16-1、16-2、16-4、17、20、30、34至40,5、13、15、18、19、證據(jù)21、22、24、26、33本院均予以認(rèn)定;對(duì)因未提交原件或超過舉證期提交的有關(guān)專利或文獻(xiàn)如證據(jù)7、8、9、14、16-3、19-1、證據(jù)12中除12-5以外的其他證據(jù)等,本院對(duì)其真實(shí)性予以認(rèn)定,對(duì)證據(jù)23公證書,因符合證據(jù)形式要求,對(duì)其真實(shí)性予以確認(rèn),但以上證據(jù)能否證明大連英可公司的證明目的,由本院根據(jù)案情確定。證據(jù)31、32系兩份媒體報(bào)道,因無法確認(rèn)其內(nèi)容的真實(shí)性,本院對(duì)該份證據(jù)不予認(rèn)定。證據(jù)41與原告證據(jù)7系同一證據(jù),予以認(rèn)定。證據(jù)42系天潤公司的工商查詢資料,內(nèi)容真實(shí),來源合法,予以認(rèn)定。對(duì)證據(jù)43系三和公司的網(wǎng)頁資料,對(duì)其內(nèi)容予以認(rèn)定,但能否證明被告大連英可公司的證明目的,由本院結(jié)合全案情況予以認(rèn)定。
依原告申請(qǐng),本院對(duì)被告凱豐公司使用的泡沫鎳產(chǎn)品的來源及實(shí)物進(jìn)行了證據(jù)保全,并到湖南省公安廳調(diào)取了與本案專利侵權(quán)糾紛有關(guān)的證據(jù)。還依大連英可公司的申請(qǐng)到國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局調(diào)取得原告取得涉案專利的轉(zhuǎn)讓合同。根據(jù)第一次庭審中原、被告方對(duì)原告證據(jù)中有關(guān)案外人天潤公司公章不一致的情況,本院向天潤公司進(jìn)行了調(diào)查核實(shí)。各方當(dāng)事人對(duì)本院調(diào)取證據(jù)的形式真實(shí)性無異議,但被告大連英可公司對(duì)本院保全和到公安機(jī)關(guān)調(diào)取證據(jù)的合法性提出異議。本院認(rèn)為,人民法院依據(jù)法律程序進(jìn)行證據(jù)保全和調(diào)查取證,程序上無違法之處,所取證據(jù)與本案訴爭有關(guān)聯(lián)性,可以作為本案的證據(jù)材料使用。
根據(jù)上述定案證據(jù),本院經(jīng)審理查明:1995年3月11日,吉林大學(xué)向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局申請(qǐng)了“一種海綿狀泡沫鎳的制備方法”發(fā)明專利,專利申請(qǐng)?zhí)枮椋裕?2,該發(fā)明專利公開日為1995年10月11日,授權(quán)日為1998年9月12日。ZL(略).2發(fā)明專利的專利權(quán)人變更情況為:2002年3月28日更為石殿普、張麗芳、李文明;2003年3月19日變更為天潤公司;2007年6月1日變更為長沙力元公司;2008年7月16日,長沙力元公司更名為科力遠(yuǎn)公司,即本案原告,2008年8月15日ZL(略).2專利權(quán)人變更為本案原告。
2008年12月16日,原告向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局繳納了涉案專利的專利年費(fèi)6000元;2008年12月19日,國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局向原告出具一份《專利收費(fèi)收據(jù)》。
ZL(略).2發(fā)明專利權(quán)利要求1記載的內(nèi)容為:一種海綿狀泡沫鎳的制備方法,使用經(jīng)過粗化的聚醚聚胺脂作基底,制作電鍍用陰極;經(jīng)鍍鎳,水洗水燥等后處理過程,制備出海綿泡沫鎳,所說的鍍鎳是在含鎳離子的電鍍液中進(jìn)行,時(shí)間為(40~50分鐘);本發(fā)明的特征在于所說的制作電鍍用陰極是用磁控濺射的方法進(jìn)行的,在鍍膜機(jī)中,以純鎳為靶,在氬氣氣氛中,控制電流密度在(0.1~1.5)×10-2A/cm2范圍,控制濺射時(shí)間在(20~100)S,兩電極間距離在(10~30)cm之間,濺射前先抽真空,真空度為(0.8~3.5)×10-5毫米汞柱,充入氬氣后真空度在(2~3.5)×104毫米汞柱;通電后,在基底和孔隙內(nèi)生長鎳,形成含金屬鎳的電鍍用陰極;所說的后處理是在(800~900)℃溫度下保溫1小時(shí),燒掉聚醚聚胺酯基底。在該專利說明書中對(duì)本發(fā)明的背景技術(shù)、發(fā)明目的、采用的技術(shù)手段進(jìn)行了以下介紹:①海綿狀泡沫鎳是由金屬鎳構(gòu)成的有許多較小孔隙的一片鎳網(wǎng)板。②已有的海綿狀泡沫鎳的制備方法,主要包括基底粗化,制作電鍍用陰極(泡沫金屬化),鍍鎳,后處理等過程;與本發(fā)明最接近的現(xiàn)有技術(shù)是申請(qǐng)?zhí)枮椋裕?1、公開號(hào)為(略)的歐洲專利,該現(xiàn)有技術(shù)公開了以陰極濺射法對(duì)聚氨脂等有機(jī)泡沫基體鍍覆導(dǎo)電金屬制作電鍍用陰極,再經(jīng)電鍍制得金屬泡沫;在電鍍中,以鎳為鍍液,并加具有光亮劑性能的化合物。③本發(fā)明的目的在于改進(jìn)已有技術(shù)的制備工藝過程,以克服已有技術(shù)的不足,制備出大面積的均勻的純度高的海綿狀泡沫鎳,并且基底不變形,提高成品率。④本發(fā)明的海綿狀泡沫鎳制備方法,其主要過程包括:基底粗化或選用粗化過的聚醚聚胺脂作基底,用磁控濺射方法制作電鍍用陰極、鍍鎳、熱處理等?;状只^程與已有技術(shù)是相同的,也可直接使用經(jīng)過經(jīng)過粗化的聚醚聚胺脂作基底制作電鍍用陰極。⑤所說的后處理是熱處理,即是在(800~900)℃溫度下保溫1小時(shí),燒掉聚醚聚胺酯基底而成為海綿狀泡沫鎳。
本案審理中,原告將該專利權(quán)利要求書中存在打印錯(cuò)誤校正如下:“聚胺脂”為“聚氨酯”之誤;“基體表”為“基體表面”之誤;“水洗水燥”為“水洗干燥”之誤;“真空度為(2~3.5)×104毫米汞柱”中104為10-4之誤。同時(shí)將其訴狀作以下修正:第2頁第2自然段第8行:(0.1~1.5)×10-2A/cm2,更正為(0.1~1.5)×10-2A/cm2;第2頁第2自然段第9行:(0.8~3.5)×10-5,更正為(0.8~3.5)×10-5;第2頁第2自然段第13行:(0.2~0.5)×10-2A/cm2,更正為(0.2~0.5)×10-2A/cm2。
ZL(略).2發(fā)明專利于1995年10月11日公開,在其公開說明書中對(duì)本發(fā)明的背景技術(shù)、發(fā)明目的、采用的技術(shù)手段均進(jìn)行了介紹。在該公開說明書中有以下內(nèi)容的描述:①海綿狀泡沫鎳是由金屬鎳構(gòu)成的有許多較小孔隙的一片鎳網(wǎng)板。②已有的海綿狀泡沫鎳的制備方法,主要包括基底粗化、制作電鍍電鍍用陰極、鍍鎳、熱處理等過程。其中基底粗化是選用聚醚聚胺脂作基底,通過粗化使其孔隙變大,增加表面粗糙程度;其中的制作電鍍用陰極是用導(dǎo)電膠方法制作;將制作好的電鍍用陰極裝夾放入含鎳離子的電鍍液中,對(duì)浸有水溶性的導(dǎo)電膠的基底通電鍍鎳,鍍鎳時(shí)間約(40~50分鐘);熱處理過程是將鍍鎳后的基底水洗干燥后,在(800~900)℃溫度下,保溫1小時(shí),燒去聚醚聚胺脂;上述過程制備的海綿狀泡沫鎳,只能制備出小塊的海綿狀泡沫鎳,且鍍層不均勻。③本發(fā)明的目的在于改進(jìn)已有技術(shù)的制備工藝過程,以克服已有技術(shù)的不足,制備出大面積的均勻的純度高的海綿狀泡沫鎳,并減少電鍍液的損耗和對(duì)環(huán)境的污染。④本發(fā)明的海綿狀泡沫鎳制備方法,其主要過程包括:基底粗化或選用粗化過的聚醚聚胺脂作基底,用磁控濺射方法制作電鍍用陰極、鍍鎳、熱處理等?;状只^程與已有技術(shù)是相同的,也可直接使用經(jīng)過粗化的聚醚聚胺脂作基底制作電鍍用陰極。⑤本發(fā)明可以制備大塊的海綿狀泡沫鎳,每塊面積可達(dá)1m2以上,且整塊是連續(xù)的。
1998年1月1日,國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利局對(duì)涉案專利申請(qǐng)作出第一次審查意見通知書,1998年4月14日,專利申請(qǐng)人根據(jù)專利局的審查意見進(jìn)行了答復(fù)。在專利申請(qǐng)人的意見陳述書中,引用的對(duì)比文獻(xiàn)系審查意見通知書所列的對(duì)比文獻(xiàn),專利申請(qǐng)人對(duì)本發(fā)明的創(chuàng)造性進(jìn)行了如下闡述:本發(fā)明跟對(duì)比文獻(xiàn)比較,其創(chuàng)造性體現(xiàn)在如下幾方面:首先是在諸多的泡沫金屬化制作電鍍陰極方法中,優(yōu)選了最佳的磁控濺射的方法;其次是總結(jié)出了磁控濺射的工藝條件,最后是熱處理方法。并稱與對(duì)比文獻(xiàn)相比,本發(fā)明權(quán)利要求的重點(diǎn)是電鍍用陰極的制備方法,且電鍍用陰極采用的磁控濺射法可以制成金屬化的多孔平板形泡沫,也可以制成卷材。
還查明,2003年11月19日,被告大連英可公司成立,其經(jīng)營范圍為發(fā)泡鎳制造、銷售,新材料研發(fā),技術(shù)咨詢,售后服務(wù),國際貿(mào)易,該公司的外資投資方為英可亞洲控股有限公司、韓國鎳業(yè)公司。
2007年5月,在深圳舉辦的x公司第二屆(中國)能源材料研討會(huì)上,大連英可公司孫國江總經(jīng)理對(duì)其公司生產(chǎn)泡沫鎳的情況進(jìn)行了介紹,在該次宣傳冊(cè)中的x大連公司圖片巡展中,其生產(chǎn)泡沫鎳的工藝包括PVD真空鍍、電鍍、熱處理、裁剪四個(gè)步驟。
根據(jù)原被告提交的證據(jù),本院查明在被告大連英可公司生產(chǎn)泡沫鎳的PVD真空鍍工序中,使用了“IMG-1000型真空磁控濺射濺射鍍膜機(jī)”,使用的基材是聚脂聚氨脂軟泡沫,如x公司的MF-45LE型軟泡沫,x公司的HHWR-46型軟泡沫。對(duì)基材進(jìn)行鍍膜的真空磁控鍍膜機(jī)內(nèi)基材兩側(cè)對(duì)稱平行設(shè)置一對(duì)上下錯(cuò)位相向的鎳靶,形狀為長方形,鎳靶長x,鎳靶高為25.1cm,使用的靶材為純鎳,兩鎳靶上靶的上沿和下靶的下沿之間的垂直距離為x,兩鎳靶的之間的垂直距離為25.5cm,基材在上下膠輥間的距離為x。鍍膜電流為10~30A,鍍膜速度為0.4~0.9m/min,本底真空度為≤2.0×10-2Pa;工作真空度為(2.0~2.5)×10-1Pa。具體操作時(shí)的工藝參數(shù)為:基材厚度分別是1.7mm、1.71mm、1.73mm,陰極鎳靶鍍膜電流分別為26A、25A,鍍膜速度為0.8m/min,起靶前真空度2.0×10-2Pa,選擇氬氣氣氛,工作真空度為2.1×10-1Pa、2.2×10-1Pa、2.3×10-1Pa、2.5×10-1Pa。鍍膜后基材在電鍍工序中完成鎳的沉積,所得產(chǎn)品具有不同面密度。該工序預(yù)鍍時(shí)間16分22秒53,主鍍時(shí)間52分40秒,電鍍后經(jīng)水洗干燥后送至熱處理工序進(jìn)行處理。對(duì)電鍍后產(chǎn)品經(jīng)過不洗干燥后送至熱處理工序進(jìn)行處理。進(jìn)行熱處理工藝中,燒結(jié)焚燒爐長度是6.7米,氧化處理溫度為(400~650)℃,燒結(jié)還原爐長度是6.0米,還原段爐溫(820~950)±20℃,走速為25米/小時(shí)。
2007年至2008年間,被告凱豐公司從被告大連英可公司購進(jìn)“英可泡沫鎳”,并使用其生產(chǎn)電池。
根據(jù)被告大連英可公司2006年至2008年的財(cái)務(wù)報(bào)表記載:該公司2006年11月產(chǎn)品銷售收入為(略).21元、產(chǎn)品銷售毛利為(略).27元、產(chǎn)品銷售利潤為(略).52元;2006年12月產(chǎn)品銷售收入為(略).46元、產(chǎn)品銷售毛利-x.68元,產(chǎn)品銷售利潤為-(略).27元。2007年全年的產(chǎn)品銷售收入為(略).8元、產(chǎn)品銷售毛利(略).82元、產(chǎn)品銷售利潤為(略).96元。2008年10月31日前全年的產(chǎn)品銷售收入為(略).1元、產(chǎn)品銷售毛利(略).8元、產(chǎn)品銷售利潤為(略).75元。以上2006年11月至2008年10月的產(chǎn)品銷售收入共為(略).57元、產(chǎn)品銷售毛利共為(略).21元、產(chǎn)品銷售利潤共為(略).96元,且從大連英可公司的財(cái)務(wù)報(bào)表中可知,產(chǎn)品銷售毛利系從產(chǎn)品銷售收入中減去了產(chǎn)品銷售成本后的余額,而產(chǎn)品銷售利潤系從產(chǎn)品銷售毛利中扣除了銷售費(fèi)用、管理費(fèi)用、財(cái)務(wù)費(fèi)用后的余額。
另查明,2007年4月,長沙力元公司與案外人天潤公司簽署一份《專利轉(zhuǎn)讓與合作合同》。該合同第一條規(guī)定:“本合同項(xiàng)下所指目標(biāo)專利分別是:1、《一種海綿狀泡沫鎳的的制備方法》,專利號(hào)ZL(略).2;2、《泡沫金屬化的連續(xù)進(jìn)料生產(chǎn)裝置》,專利號(hào)為ZL(略).3”,其中第1項(xiàng)目標(biāo)專利即本案涉案專利;第二條規(guī)定:“乙方(即天潤公司)同意將本合同項(xiàng)下的兩項(xiàng)目標(biāo)專利的所有權(quán)以人民幣260萬元轉(zhuǎn)讓給甲方(即長沙力元公司)。乙方保證對(duì)該兩項(xiàng)目標(biāo)專利的所有權(quán)是合法有效和完整的”;第三條規(guī)定:“乙方同意將轉(zhuǎn)讓生效前所擁有的基于目標(biāo)專利所產(chǎn)生的權(quán)利和利益一并轉(zhuǎn)讓給甲方”;第四條規(guī)定:“乙方保證與目標(biāo)專利有關(guān)的權(quán)益方廣西梧州三和新材料科技有限公司放棄對(duì)本合同項(xiàng)下目標(biāo)專利的權(quán)屬要求,以確保本合同所述的目標(biāo)專利轉(zhuǎn)讓合法有效”;第五條規(guī)定了甲方與三和公司另行簽訂專利排他性使用許可合同,且許可合同的效力是本合同成立并生效的前提條件;第十五條規(guī)定,本合同以雙方正式簽署并在甲方支付第一批轉(zhuǎn)讓款之日起生效。合同中還對(duì)轉(zhuǎn)讓金額及支付時(shí)間進(jìn)行了約定,該《專利轉(zhuǎn)讓與合作合同》上加蓋有甲乙雙方的單位公章,且天潤公司簽字代表是穆俊江。
長沙力元公司與天潤公司進(jìn)行專利轉(zhuǎn)讓時(shí),還簽署了一份《專利轉(zhuǎn)讓協(xié)議》,雙方以該份協(xié)議到國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利局進(jìn)行備案。在該份協(xié)議中,雙方約定:ZL(略).X號(hào)專利的轉(zhuǎn)讓金額是130萬元,天潤公司同意將轉(zhuǎn)讓生效前所擁有的基于目標(biāo)專利所產(chǎn)生的權(quán)利和利益一并轉(zhuǎn)讓給長沙力元公司。
2007年4月29日,長沙力元公司與案外人三和公司簽署《專利實(shí)施許可合同》。其主要內(nèi)容為:長沙力元公司同意無償授予三和公司在國內(nèi)對(duì)包括涉案專利在內(nèi)的兩項(xiàng)專利的排它性使用許可權(quán)。
2007年5月10日,長沙力元公司向天潤公司電匯50萬元專利轉(zhuǎn)讓款;2007年5月29日,天潤公司向長沙力元公司出具一張項(xiàng)目名稱為“轉(zhuǎn)讓費(fèi)”,金額為“伍拾萬元整”的發(fā)票。
本院經(jīng)向天潤公司調(diào)查了解到:天潤公司與原告方簽訂的《專利轉(zhuǎn)讓與合作合同》已經(jīng)生效并履行,且天潤公司承認(rèn)在該合同中約定的“基于目標(biāo)專利所產(chǎn)生的權(quán)利和利益”包括其作為專利權(quán)期間內(nèi)追究侵權(quán)行為人責(zé)任的權(quán)利。代表天潤公司簽署該份《專利轉(zhuǎn)讓與合作合同》的是其公司總經(jīng)理穆俊江,穆俊江現(xiàn)還是三和公司法定代表人,并稱三和公司對(duì)涉案ZL(略).2專利不享有任何權(quán)屬權(quán)利。
2009年2月20日,案外人常德力元公司向湖南省知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交一份《專利糾紛調(diào)解請(qǐng)求書》,請(qǐng)求裁決請(qǐng)求人為目標(biāo)專利即“一種海綿狀泡沫鎳的制備方法”的共有權(quán)人,并要求被請(qǐng)求人即本案原告依約到國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局辦理專利所有權(quán)人變更手續(xù)。
2003年4月8日,案外人金昌普公司與天潤公司簽訂《專利技術(shù)合作合同》,雙方鑒于:天潤公司擁有的兩項(xiàng)用磁控濺射方法生產(chǎn)泡沫鎳的專利以及金昌普公司是目前國內(nèi)唯一采用磁控濺射工藝生產(chǎn)泡沫鎳的廠家并申請(qǐng)了該工藝的專利,兩公司達(dá)成了合作事項(xiàng)。雙方還約定:雙方有義務(wù)利用各種方式禁止專利技術(shù)的外流,并承諾不得向任何第三方轉(zhuǎn)讓該專利技術(shù)。
2007年4月16日,天潤公司向金昌普公司發(fā)出“關(guān)于解除《專利技術(shù)合作合同》通知”,天潤公司以金昌普公司已將該合同中所指專利技術(shù)轉(zhuǎn)讓給英可高新技術(shù)材料(沈陽)有限公司,且該違約行為已經(jīng)法院認(rèn)定,違反了合同約定為由,通知解除與金昌普公司之間的《專利技術(shù)合作合同》。天潤公司于2007年4月16日向金昌普公司送達(dá)了該通知。
再查明,《沈陽工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào)》1991年12月版文獻(xiàn)《高孔隙度金屬-泡沫鎳的研制》一文記載:泡沫鎳完全保持著泡沫樹脂的結(jié)構(gòu)特征;泡沫鎳的孔徑大小和分布,原則上都是由泡沫樹脂所決定;不同孔徑泡沫鎳的生產(chǎn),應(yīng)從原始骨架材料選用上解決;聚酯型和聚醚型同為制造泡沫鎳的基材。根據(jù)1989年我國輕工業(yè)部批準(zhǔn)的《軟質(zhì)聚氨酯泡沫塑料》國家標(biāo)準(zhǔn),聚醚型與聚酯型聚氨酯在表觀密度、拉伸強(qiáng)度、伸長率等物理機(jī)械性能指標(biāo)上有不同。
根據(jù)中國有色金屬工業(yè)總公司創(chuàng)辦期刊《稀有金屬》1997年第6期中文獻(xiàn)《泡沫鎳制備方法》的介紹,在我國泡沫塑料生產(chǎn)廠均未制定出泡沫塑料基體孔徑的大小和開孔率等參數(shù)的考核指標(biāo),也就是說,國內(nèi)還沒有為制備泡沫鎳用泡沫塑料基體的專業(yè)生產(chǎn)廠家。而根據(jù)2001年7月發(fā)表于《電鍍與精飾》期刊上的“用電沉積方法制備泡沫鎳材料”一文的介紹,泡沫鎳性直接影響電池的性能,泡沫鎳技術(shù)指標(biāo)中相當(dāng)一部分取決于泡沫基體材料……泡沫基體材料選擇考慮以下幾個(gè)參數(shù):厚度……孔徑……孔率……通孔率。而依據(jù)我國《電池用泡沫鎳》(國家標(biāo)準(zhǔn)),泡沫鎳按生產(chǎn)方式不同分為卷式帶狀和片式塊狀兩種;而影響泡沫鎳物理性能的是面密度、面密度允許偏差、孔數(shù)、孔數(shù)允許偏差、孔隙率等指標(biāo),并對(duì)上述技術(shù)指標(biāo)范圍有明確要求,如要求孔數(shù)在(60~140)PPI、孔隙率在95%以上等。
根據(jù)1989年10月東北工業(yè)學(xué)院出版社出版的《真空鍍膜技術(shù)與設(shè)備》一文:制備高質(zhì)量的薄膜,首先必須具備高純度的靶材和清潔的靶表面。真空濺射中濺射原子的自由程為1~10cm,因此,靶與基片的空間距離應(yīng)與該值大致相等;否則,粒子在遷移過程中將發(fā)生多次碰撞,即降低濺射原子的能量又增加靶材的散射損失。濺射原子能量比蒸發(fā)原子能量高1~2個(gè)數(shù)量級(jí),高能量的濺射原子沉積在基片上進(jìn)行的能量轉(zhuǎn)換比蒸發(fā)原子高的多,產(chǎn)生較高熱能,增強(qiáng)了濺射原子與基片的附著力;在成膜過程中,基片始終在等離子區(qū)被清洗和激活,清除了附著力不強(qiáng)的濺射原子,凈化且激活基片表面;對(duì)于一般的濺射裝置,濺射膜的形成是利用真空輝光放電,等離子區(qū)中的正離子由于被陰極靶前的陰極電位降所加速而轟擊陰極靶,從而使靶材產(chǎn)生濺射;用膜材制成的靶為陰極,亦稱陰極靶,其上通以負(fù)高壓,為了在輝光放電中使靶面保持可以控制的負(fù)電壓,靶材必須是導(dǎo)電體;被荷能粒子轟擊的靶材處于較高負(fù)電位;基片接地,則處于陽極電位,受到等同的電子轟擊;基片懸浮,在輝光放電空間取得相對(duì)于地電位稍負(fù)的懸浮電位,基片周圍的等離子體電位高于基片電位,引起一定程度的電子和正離子的轟擊,導(dǎo)致膜厚、成分或其它特性的變化;基片有目的地施加偏壓,使其按電的極性接收電子或離子,可以凈化基片增強(qiáng)薄膜附著力;與直流二級(jí)濺射相比較,磁控濺射的區(qū)別僅在于正交電磁場對(duì)電子的束縛效應(yīng);為提高對(duì)電子的束縛效應(yīng),磁控濺射裝置中應(yīng)當(dāng)盡可能滿足磁場與電場相互垂直;偏壓濺射與直流二級(jí)濺射的區(qū)別在于基片上施加一固定直流偏壓;高密度等離子體被電磁場束縛在靶面附近,電離產(chǎn)生的正離子能十分有效地轟擊靶面;濺射率主要與下述因素有關(guān):靶材、入射離子的能量、入射離子的種類、入射離子的入射角、靶材溫度;沉積速率是指從靶材上濺射出來的材料,在單位時(shí)間內(nèi)沉積到基片上的厚度,是用來表征成膜速度的物理量,該速率與濺射率成正比;為盡可能地提高沉積速率,在不影響輝光放電的前提下,基片應(yīng)該盡量靠近濺射靶;為降低殘余氣體壓力,提高沉積薄膜的純度,可以通過提高本底真空度和氬氣量來解決,為此,在提高真空系統(tǒng)抽氣能力的同時(shí),提高本底真空度和加大送氬量是確保薄膜技術(shù)純度必不可少的兩項(xiàng)措施,就濺射鍍膜裝置而言,真空室本底真空度應(yīng)為X-X-X-4Pa;當(dāng)工作氣體壓力增高到一定值時(shí),濺射率開始明顯下降,其原因在于靶材粒子的背反射和散射增大,導(dǎo)致濺射率下降,濺射率下降直接影響濺射粒子在基體上的成膜效果下降;為獲得好的鍍膜質(zhì)量,優(yōu)選真空度X-X-X-4Pa,當(dāng)本底真空度降低時(shí),直接影響鍍膜質(zhì)量。
1992年7月化學(xué)工業(yè)出版社出版的《化工辭典》(第三版)記載的電流密度的定義為:電路中某點(diǎn)電流強(qiáng)弱和電流方向的物理量,等于單位時(shí)間內(nèi)通過垂直于電流方向單位面積的電量。
1991年3月機(jī)械工業(yè)出版社出版的《薄膜科學(xué)與技術(shù)手冊(cè)》(上冊(cè))中記載:在平面磁控濺射中,電子受到有效的收聚作用,電離碰撞的頻率極高,因此容易獲得非常大的轟擊靶的電子流密度;除高速磁控濺射方式之外,在其它所有濺射方式中,靶的平均離子電流為1mA/cm2左右,在高速磁控濺射方式中,很容易達(dá)到0~x/cm2。在高速磁控電極中,采用的是不均勻磁場,因此會(huì)使等離子體產(chǎn)生局部收聚效應(yīng)。濺射粒子達(dá)到基片時(shí)所具有的能量直接決定于靶和基片之間的距離,以及濺射氣壓;為獲得好的鍍膜質(zhì)量,優(yōu)選真空度X-X-X-4Pa,當(dāng)本底真空度降低時(shí),直接影響鍍膜質(zhì)量。
1993年電子科技大學(xué)出版的《薄膜物理與技術(shù)》高等學(xué)院教材中記載:隨著電源功率的增大,轟擊區(qū)逐漸擴(kuò)大,直到陰極面上的電流密度幾乎均勻?yàn)橹?。由于濺射鍍膜時(shí)的放電電流和靶電流可以控制,通過控制靶電流則可控制膜厚度。由于濺射粒子到達(dá)基片時(shí)所具有的能量直接決定與靶和基片之間的距離,以及濺射氣壓。E點(diǎn)以后,離子轟擊覆蓋整個(gè)陰極表面。薄膜的均勻性是衡量薄膜質(zhì)量和鍍膜裝置性能的一個(gè)重要指標(biāo),為了提高薄膜厚度均勻性,可采取優(yōu)化靶基距。
1989年3月機(jī)械工業(yè)出版社出版的《表面沉積技術(shù)》、1989年5月上海交通大學(xué)出版社出版的《金屬真空表面強(qiáng)化的原理與應(yīng)用》、2007年10月化學(xué)工業(yè)出版社出版的《薄膜材料與薄膜技術(shù)》(第二版)中均記載了真空鍍膜濺射中靶面的電流密度作為鍍膜質(zhì)量控制參數(shù)之一。而在該《表面沉積技術(shù)》一書中,還記載了:對(duì)于磁控濺射鍍膜,由于存在著電磁場的不均勻分布,所造成的不均勻的等離子體密度,導(dǎo)致靶原子的不均勻?yàn)R射和不均勻沉積。
被告大連英可公司還以其使用的技術(shù)分別被以下技術(shù)資料公開為由進(jìn)行現(xiàn)有技術(shù)抗辯,所述現(xiàn)有技術(shù)分別為:①1988年6月8日申請(qǐng)的美國第(略)號(hào)“多孔金屬結(jié)構(gòu)及其制造方法”發(fā)明專利,在該專利說明書中記載:本發(fā)明的目的是產(chǎn)生一種制造多孔金屬結(jié)構(gòu),特別是網(wǎng)狀或纖維結(jié)構(gòu)的新型方法;本方法可應(yīng)用于由網(wǎng)狀或編織結(jié)構(gòu),或者氈所構(gòu)成的基體,包括以下幾個(gè)步驟:a對(duì)上述基體進(jìn)行預(yù)鍍金屬,b需要的話進(jìn)行化學(xué)和(或)電化學(xué)鍍金屬,c必要時(shí)除去上述基體,該方法因上述鍍金屬步驟a包含了真空鍍金屬這一事實(shí)而獨(dú)具特色;真空鍍金屬可以通過目前已知的、在其他應(yīng)用中的任何一種方法來進(jìn)行,特別是陰極濺射、氣體擴(kuò)散或離子沉積;當(dāng)所用的基體是泡沫型或者多孔型時(shí),在真空鍍步驟a之前,要進(jìn)行所謂的“開孔”操作,開孔操作旨在打開孔隙以取得網(wǎng)狀結(jié)構(gòu);組成網(wǎng)狀基體材料,尤其可以是聚合物,如聚酯、聚酰胺、聚亞安酯、聚醚和樹脂;同時(shí)在該發(fā)明說明書中還對(duì)真空鍍使用的金屬、真空鍍工藝的優(yōu)點(diǎn)及優(yōu)選的實(shí)施例等進(jìn)行了說明。②1989年10月東北工業(yè)學(xué)院出版社出版的《真空鍍膜技術(shù)與設(shè)備》中提及,中國自1980年后就開始發(fā)展磁控濺射技術(shù),目前在磁控濺射裝置和相應(yīng)的鍍膜工藝研究上已出現(xiàn)工業(yè)性生產(chǎn)的局面;且在介紹濺射理論時(shí)稱之為陰極濺射,濺射方式包括二極濺射、高速低溫濺(磁控濺射)、偏壓濺射等;濺射氣體應(yīng)當(dāng)具備濺射率高、對(duì)靶材呈惰性、價(jià)格便宜、來源方便、易于得到高純度的氣體等特點(diǎn),一般選擇氬氣;平面磁控濺射的工作條件為陰極電壓300~600V,電流密度4~60mA/cm2,氬氣壓力為0.13~1.3Pa;一般以膜的平均厚度除以沉積時(shí)間所定義的平均沉積速率來表征沉積率,為了盡可能地提高沉積速率,基片應(yīng)盡量靠近濺射靶,但必須保證穩(wěn)定地異常輝光放電,通常,其最小間距為5~7cm;靶-基距對(duì)沉積速率、膜厚均勻度都有影響。③1989年3月機(jī)械工業(yè)出版社出版的《表面沉積技術(shù)》中提及:各種濺射鍍膜運(yùn)行參數(shù)中磁控濺射的電流密度是3~50mA/cm2;為保證涂層質(zhì)量,盡量減少殘余空氣的污染,物理氣相沉積技術(shù)要求有較高的本底真空度,均需采用高真空機(jī)組抽至10-2~10-3Pa;磁控濺射時(shí)的工作氣壓是10-1~x。④1991年3月機(jī)械工業(yè)出版社出版的《薄膜科學(xué)與技術(shù)手冊(cè)》(上冊(cè))提及:無論哪一種濺射方式,由于放電特性受到電極的幾何形狀、靶材質(zhì)、放電氣壓、磁場強(qiáng)度及分布特性等因素的影響;除高速磁控濺射方式之外,在其它所有濺射方式中,靶的平均離子電流密度為1mA/cm2左右,而在高速磁控濺射方式中,很容易達(dá)到10~x/cm2;在靶厚
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